반도체 제조 공정은 외부 환경에 매우 민감하기 때문에 일정한 온도를 유지해야하는 매우 섬세한 과정입니다.
반도체 제조 공정에서 열을 제어하기 위해 필요한 장비는 Chiller이며, 제조 공정과 그 주변의 온도를 정밀하게 조절합니다.
윌로의 반도체 솔루션 펌프는 반도체 제조 과정이 항상 일정한 온도를 유지할 수 있도록 Chiller에 액체를 이송합니다.
또한 반도체 제조 과정에서는 다양한 유해 가스들이 배출되게 됩니다. 유해한 가스들이 배출되지 못하도록 가스를 처리하는 장비를 Scrubber라고 합니다.
Scrubber 장비에도 윌로의 반도체 솔루션 펌프가 들어가고 있으며, 윌로의 펌프를 통해 들어간 물이 가스를 흡수하는 방식으로 유해가스를 처리하고 있습니다.
