Wilo 사업분야 - 반도체 산업

반도체 산업에서 펌프의 역할: 생산성 향상과 워터 리스크 최소화

6인치 웨이퍼 한 장을 제조하는 데 약 1.5톤의 물이 소요되는 반도체 공정에서 안정적이고 지속 가능한 물 공급은 공정의 정밀성, 생산성, 품질을 보장하는 중요한 요소입니다.

고도의 요구 사항을 충족하며 반도체 산업에서 검증된 신뢰성을 자랑하는 윌로펌프의 반도체 솔루션은 '워터 리스크'를 최소화하고 생산 안정성을 높이는 데 기여합니다.

냉수 및 냉각수 펌프

냉각수 시스템의 핵심, 냉수 및 냉각수 펌프
반도체 제조 장비는 작동 시 많은 열을 발생시킵니다. 이 열을 효율적으로 관리하지 못하면 장비의 성능 저하와 고장으로 이어질 수 있습니다.

냉수 및 냉각수 펌프는 장비와 클린룸의 온도를 일정하게 유지하기 위해 냉각수를 순환시키는 역할을 합니다. 이 펌프는 높은 에너지 효율을 통해 운영 비용을 절감하는 동시에, 공정의 안정성을 높이는 데 기여합니다.

급수 펌프

안정적인 용수 공급을 위한 급수 펌프
반도체 공정에서는 배관을 통해 물을 이송하거나, 고압으로 분사해야 하는 경우가 많습니다. 급수 펌프는 이러한 작업을 위해 수압을 일정하게 유지하고 필요한 압력을 공급하는 역할을 합니다.

특히, 대규모 반도체 공장에서는 물이 부족해 생산이 중단되는 워터 리스크’를 방지하기 위해 급수 펌프의 안정적인 성능이 매우 중요합니다.

프로세스 펌프

반도체 제조 공정의 필수 요소, 프로세스 펌프
프로세스 펌프는 반도체 생산 라인에서 용수를 순환시키고 공급하는 데 사용됩니다. 이 펌프는 반도체 공정 중 정밀한 공정에 필수적입니다.

프로세스 펌프는 높은 신뢰성과 정밀한 성능을 갖춰야 합니다.

Wilo-SCP

세부 정보
Wilo-Atmos GIGA-N

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Wilo-Helix V

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설치 사례

Infineon (Germany)